筱曉(上海)光子技術有限公司是一家被上海市評為高新技術企業的專業光學服務公司，業務涵蓋設備代理以及項目合作研發，建有*的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室，為國內外客戶提供專業技術支持服務
XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 2-100nm

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更新時間：2024-12-08

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光學測量儀器

相機線寬測量儀光度儀/反射計偏振分析儀/旋光儀顯微OCT掃頻測振/磁光克爾探測卡/感應卡觀察儀/觀察鏡波前分析儀/波前傳感器示波器精密定位/光學平臺功率計自準直儀光譜分析儀脈寬測量(相關儀等) 光束/光斑質量分析儀干涉儀/標準具波長計相機/鏡頭/機器視覺

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品牌	其他品牌	價格區間	面議
組成要素	半導體激光器產品及設備	產地類別	進口
應用領域	化工,建材,電子

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具有高分辨率和效率的多功能光譜儀

隨著在半導體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術的發展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個重要的工業意義。這導致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術的需求。因此，我們構建了一個模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀，可用于等離子體光譜學、源診斷和計量學。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產生high harmonic generation，HHG）。

該光譜儀設計靈活，適用于多種應用。對于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測器系統像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級的。

XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 2-100nm,XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 2-100nm

通用參數

寬帶高光譜分辨率

普通光譜儀針對一個波長的特定分辨率進行了優化。相比之下，我們的專業設計可在寬帶寬下實現高分辨率。例如，我們的 XUV 光譜儀在 12-41 nm 的整個帶寬內達到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。

圖片4.png

操作方式及可用性

我們靈活的光譜儀提供多種操作模式，可以在操作過程中改變。

通過使用行程范圍為幾厘米的多軸電動工作臺，用戶可以輕松地對設備進行校準。此外，可以在光束路徑中在線放置不同的光學器件來測量不同的光束特性。該光譜儀具有以下工作模式:(1)XUV光束檢測，(2)角分辨光譜，(3)高效、光譜分辨率高的成像光譜。

下圖為角分辨光譜(a、b)和成像光譜(c、d)的測量結果。

圖片5.png

我們提供

優質產品

為您的應用程序全定制

2-100 nm 的光譜范圍

高達 λ/Δλ > 10000 的高分辨率

多功能設置：電動載物臺和自適應法蘭

不透光的設置：可以集成遮光罩

超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 條件

在線操作模式&對準&光束檢測

狹縫和無狹縫設置

出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率

公司簡介
筱曉(上海)光子技術有限公司是一家被上海市評為高新技術企業的專業光學服務公司，業務涵蓋設備代理以及項目合作研發，公司位于大虹橋商務板塊，擁有接近2000m2的辦公區域，建有500平*的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室，為國內外客戶提供專業技術支持服務。公司主要經營光學元件、激光光學測試設備、以及光學系統集成業務。依托專業、強大的技術支持，以及良好的商務支持團隊，筱曉的業務范圍正在逐年增長。目前業務覆蓋國內外各有名高校、*科研機構及相關領域等諸多企事業單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業的研發實驗室，奠定了我們在設備的拓展應用及自主研發領域堅實的基礎。
主要經營
激光器/光源
半導體激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子級聯激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
氣體激光器（HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器）
光纖激光器（連續激光器、超短脈沖激光器）
光學元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學晶體、光纖隔離器/環形器、脈沖驅動板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準直器、光接收組件、激光控制驅動器等各種無源器件
激光分析設備
高精度光譜分析儀、自相關儀、偏振分析儀，激光波長計、紅外相機、光束質量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設備
光纖拉錐機、裸光纖研磨機。