自準直儀是一種利用光的自準直原理將角度測量轉換為線性測量的一種計量儀器。它廣泛用于小角度測量、平板的平面度測量、導軌的平直度與平行度測量等方面。它是一種利用光的自準直原理測量平直度的儀器。當狹縫光源位于物鏡的焦平面上時,光線將通過物鏡折射為平行光束,再經由一垂直于光軸的平面反射鏡將光束循原路反射回來。若是平面反射鏡有偏斜,則放射光束聚焦后成的像,將偏離狹縫光源的原始位置。通過目鏡讀數,可測出反射鏡對光軸垂直面的微小傾角。其內部結構如下圖所示:
自準直儀內部結構圖
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光電自準直儀
它可以測量10m以內的鏡面平面度,量程為±3.5 mrad,準確度不大于±5 urad。打開自準直儀和配套的平板熱點,啟動自準直儀APP后,等待自準直儀自動連接。當界面上顯示connected后,用一片金屬反射鏡將準直輸出光原路返回,便可以實時監測反射鏡的垂直度。
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